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    化學束磊晶成長氮化銦薄膜與特性分析研究
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 葉俊樑 指導教授: 周賢鎧 陳貴賢 林麗瓊
    • 本研究已成長高品質氮化銦(InN)薄膜在氮化鎵(001)的基板上,利用高解離性的氮源(HN3)來當化學束磊晶技術來成長薄膜。成長薄膜特性分析儀器使用:高解析度場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、高…
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